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俄羅斯為35年前的光刻機續命:自研光刻機已亮相

據國外媒體報道稱,俄羅斯近日繞過了制裁,為本國存在了35年的光刻機續命。

報道中提到,儘管歐洲制裁禁止向俄羅斯實體出售任何高科技機器,但俄羅斯公司仍在2022年和2023年成功獲得了ASML1990年代晶片製造機器的備件。

俄羅斯進口商已經想方設法為ASML的PAS5500光刻工具引進了至少170批備件,而ASML則表示,近年來沒有銷售產品或與俄羅斯分銷商有任何往來。

ASML的PAS5500系列200毫米光刻工具最初於1991年推出,並在20世紀90年代和2世紀初不斷發展。如今,PAS5500系列包括i-line、氟化氪(KrF)步進機以及 i-line、KrF和氟化氬(ArF)步進掃描系統。

雖然ASML不再生產這些光刻工具,但它銷售翻新的PAS5500機器,並計劃將其支持到2035年,因此市場上有大量的備件,尤其是在中國。

不過俄羅斯也根本沒啥怕的,在這之前他們首台光刻機已經製造完成並正在進行測試。

俄羅斯聯邦工業和貿易部副部長瓦西里-什帕克指出,該設備可確保生產350nm的晶片。

在俄羅斯看來,儘管350nm的晶片技術相較之下顯得落後,但它在汽車、能源和電信等諸多行業中仍有着應用價值。

俄羅斯已經表示,計劃到2026年實現65nm的晶片節點工藝,2027年實現28nm本土晶片製造,到2030年實現14nm國產晶片製造。

責任編輯: zhongkang  來源:快科技 轉載請註明作者、出處並保持完整。

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