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國產替代化加速!又有大陸業者購進ASML光刻機

A股上市公司上海新陽發佈公告稱,由上海芯刻微材料技術有限責任公司委託盛吉盛(寧波)半導體材料有限公司代理投標,成功得標購得艾司摩爾(ASML)光刻機一台,該設備可用於研發解像度達28奈米的高端光刻膠。

上海新陽是大陸積體電路製造關鍵工藝材料供應商,最新公告顯示,上海新陽的子公司成功購進一台光刻機。

公告指出,芯刻微11日向盛吉盛支付10%首期貨款購入該光刻機,剩餘90%在六個月內付清。後續公司將啟動設備的運輸及相關安裝調試等工作。

公司表示,積體電路製造用ArF濕法光刻膠產品技術要求高、投資需求大,公司為加速積體電路製造用高端光刻膠全品類的國產化進程,減少上市公司業績壓力,透過參股子公司芯刻微進行Ar濕法光刻膠的研發,並與協議各方承諾未來透過向上市公司進行股權轉讓或技術轉讓等方式,避免可能的同業競爭。

上海新陽強調,光刻膠產品在積體電路材料中技術難度大,品質要求最高,開發周期長,且核心技術及原材料幾乎被國外廠商所壟斷。

公告稱,這次購入的機型是ASML XT1900 Gi型的二手光刻機,但未披露價格。

第一財經報導,值得注意的是,這已經不是上海新陽第一次購入光刻膠產品。公司3月8日公告稱,ASML-1400光刻機設備於當日已進入合作方北方積體電路技術創新中心(北京)場地,後續將進行安裝調試等相關工作,對加快193奈米光刻膠產品開發進度有積極影響。

近期不少大陸上市公司都在購買光刻機。晶瑞股份1月19日公告順利購得ASML XT1900 Gi型光刻機一台。中芯國際3月3日公告已於2月1日與ASML簽訂設備採購協定,此外,英諾賽科也公佈今年擬購入光刻機設備。

自去年下半年以來,晶片缺貨漲價已經成為半導體行業的主旋律。而光刻膠作為半導體光刻工藝的核心材料,決定半導體圖形工藝的精密程度和良率,成為其中最受矚目的環節。

中金公司曾指出,半導體設備和材料是高端製造業發展的基礎,結合中芯國際潛在成熟製程獲取美國設備許可證,建議關註上游設備及原材料的機會。

近期不少大陸上市公司都在購買光刻機。

責任編輯: 楚天   來源:聯合報 轉載請註明作者、出處並保持完整。

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