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效率提高18% ASML最新極紫外光刻機設計完成

12月29日消息,據國外媒體報道,阿斯麥是全球目前唯一能製造極紫外光刻機的廠商,在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機之後,他們還在研發更先進、效率更高的極紫外光刻機。

12月29日消息,據國外媒體報道,阿斯麥是全球目前唯一能製造極紫外光刻機的廠商,在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機之後,他們還在研發更先進、效率更高的極紫外光刻機。

阿斯麥極紫外光刻機

在10月14日發佈的三季度財報中,阿斯麥就披露他們新一代的極紫外光刻機TWINSCAN NXE:3600D,計劃在明年年中開始出貨,生產效率較目前的產品提升18%。

而從外媒的報道來看,除了NXE:3600D,阿斯麥還在研發高數值孔徑的極紫外光刻機NXE:5000系列,設計已經基本完成。

外媒在報道中也表示,雖然阿斯麥NXE:5000高數值孔徑極紫外光刻機的設計已基本完成,但商用還需時日,預計在2022年開始商用。

作為一款高數值孔徑的極紫外光刻機,NXE:5000系列的數值孔徑,將提高到0.55,阿斯麥目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機,數值孔徑為0.33。

值得注意的,在阿斯麥高數值孔徑的極紫外光刻機方面,月初也出現過相關的消息。

在月初報道CEO彼得·維尼克等阿斯麥高管,到訪三星電子並參觀三星電子的半導體工廠時,外媒表示三星希望獲得阿斯麥更多的極紫外光刻機、先於台積電獲得高數值孔徑極紫外光刻機。

責任編輯: 李雨菡  來源:Techweb 轉載請註明作者、出處並保持完整。

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